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  靶材是制备薄膜的主要材料之一，主要应用于集成电路、平板显示、太阳能电池、记录 媒体、智能玻璃等，对材料纯度和稳定性要求高。溅射靶材的工作原理：溅射是制备薄膜材 料的主要技术之一，它利用离子源产生的离子，在真空中经过加速聚集，而形成高速度能的 离子束流，轰击固体表面，离子和固体表面原子发生动能交换，使固体表面的原子离开固体 并沉积在基底表面，被轰击的固体即为溅射靶材

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